64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C ASM 널 Plc 단위

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제품 세부사항

원자료는 SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 및 BBr3를 포함합니다. 다른 진한 액체로 처리 물자는 할 수 있습니다

그들이 정확한을 위한 충분한 농도로 기체화하면 이라는 조건으로, 또한 통제되십시오

ratiodetection. 운반 기체는 H2, 그, N2, O2 및 Ar를 포함합니다.

3 산출은 제공됩니다: 근원 (+5VDC에 0); 운반대 (+5VDC에 0); 비율 (+5VDC에 0).

이 산출은 1000년의 감도를 가진 어떤 5개 볼트 D.C 전압계든지로 감시될 수 있습니다

옴/볼트 또는 더 많은 것. 붙박이 벨브는 운반대 근원을 통제하기 위하여 질량 유속을 변화합니다

외부 통제 전압에 의해 선정되는 그램/min.

스몰 패키지는 유량계 단면도, 비율 발견자, 통제 벨브를 포함합니다

전자공학.

0.1 5 vdc를 놓는 명령

산출 표시

1. 근원: 기체화된 액체의 질량 유속에 선형의 0.1-5 vdc 비례

2. 운반대: 운반 기체의 질량 유속에 선형의 0.1-5 vdc 비례
3. 비율: 5로 오르는 운반대 교류 (SCCM)에 수증기 교류 (SCCM)의 비율에 선형의 0.1-5 vdc 비례 vdc = 50%

포입 (i.e 통제 없음) Ratio=0가 없고을 운반대가 5vdc (전형적으로 5.6 볼트) 보다는 더 중대할 가치를 도달할 때 유의하십시오.

산출 임피던스: 10 옴 최대

잔물결: 최대 50 mv PP

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